近日，上海發(fā)布《關(guān)于新時(shí)期強(qiáng)化投資促進(jìn)加快建設(shè)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的政策措施》（下稱《政策措施》）�！墩�策措施》明確指出，聚力招引集成電路、生物醫(yī)藥、人工智能三大先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，通過資金、政策等支持舉措，強(qiáng)化重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)招商新優(yōu)勢。

　　經(jīng)過多年的發(fā)展，上海在上述三大先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)已形成明顯的產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)。以集成電路為例，根據(jù)去年年中發(fā)布的數(shù)據(jù)，上海集聚了超過1200家行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)，匯聚了全國約40%的產(chǎn)業(yè)人才，集聚了國內(nèi)超過50%的行業(yè)創(chuàng)新資源。2021年，上海集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破2500億元，約占全國25%。2022年上半年，上海集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模繼續(xù)保持超過17%的增速增長，全年有望突破3000億元。

　　從產(chǎn)業(yè)鏈路方面來看，上海不僅已在晶圓制造、集成電路設(shè)計(jì)、汽車芯片等領(lǐng)域建立起優(yōu)勢，在半導(dǎo)體材料、EDA、半導(dǎo)體設(shè)備制造等需要“補(bǔ)短板”的領(lǐng)域也誕生了標(biāo)桿企業(yè)。

　　補(bǔ)短板，誕生多個(gè)集成電路標(biāo)桿企業(yè)

　　在芯片設(shè)計(jì)的底座EDA領(lǐng)域，上海的概倫電子（688206.SH）、思爾芯快速成長，助推國產(chǎn)EDA發(fā)展。公開數(shù)據(jù)顯示，兩家企業(yè)2020年?duì)I業(yè)額均超過1億元，而2021年實(shí)現(xiàn)營業(yè)額分別同比增長41%和59%的成績。EDA是面向電子設(shè)計(jì)領(lǐng)域的基礎(chǔ)工具，被稱作“芯片之母”，貫穿于芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造及封測各環(huán)節(jié)。但長期以來，全球EDA軟件市場由新思科技、楷登電子和西門子等國際巨頭主導(dǎo)，三家廠商共占據(jù)全球EDA市場約70%的份額。

　　同樣存在短板的，還有半導(dǎo)體硅片領(lǐng)域。目前，全球半導(dǎo)體硅片市場主要為日本的信越化學(xué)和SUMCO、德國的Siltronic、中國臺(tái)灣的環(huán)球晶圓以及韓國的SK Siltron所壟斷。據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，2020年上述全球前五大硅片制造商共同占據(jù)著半導(dǎo)體硅片市場約87%的份額。

　　而中國大陸的半導(dǎo)體硅片企業(yè)主要生產(chǎn)150mm（6英寸）及以下的半導(dǎo)體硅片，僅有滬硅產(chǎn)業(yè)、上海超硅等少數(shù)幾家企業(yè)同時(shí)具有200mm（8英寸）及300mm（12英寸）大尺寸硅片的生產(chǎn)能力。

　　也因此，國產(chǎn)半導(dǎo)體大硅片企業(yè)正加速追趕。今年1月，上海市發(fā)展改革委公布《上海市2023年重大工程項(xiàng)目清單》，“超硅半導(dǎo)體300mm集成電路硅片全自動(dòng)智能化生產(chǎn)線”、“上海超硅生產(chǎn)研發(fā)及配套設(shè)施建設(shè)項(xiàng)目”兩個(gè)項(xiàng)目入選。一家公司同時(shí)兩個(gè)項(xiàng)目入選省級(jí)重大工程，凸顯了上海市對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的重視程度與支持力度。

　　資料顯示，上海超硅成立于2008年，是一家主要從事半導(dǎo)體硅片研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技企業(yè)，目前主要產(chǎn)品包括200mm的拋光片、氬氣退火片和外延片，300mm的拋光片、外延片，是中國大陸輕摻雜、零缺陷大尺寸硅片的技術(shù)拓荒者之一，更是最早進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)的輕摻雜大尺寸硅片企業(yè)。

　　在技術(shù)上，上海超硅已形成了完備的技術(shù)鏈條，掌握了包括高純半導(dǎo)體單晶生長爐自主設(shè)計(jì)與集成技術(shù)、高成晶率單晶直拉生長自動(dòng)控制技術(shù)、高精度低損耗半導(dǎo)體硅片加工技術(shù)，以及基于拋光硅片的特殊用途硅片加工技術(shù)等核心技術(shù)。

　　其中，長晶爐是半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備。據(jù)業(yè)內(nèi)人士介紹，在大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)中，拉晶環(huán)節(jié)所需的晶體生長設(shè)備直接影響半導(dǎo)體晶體的電阻率、含氧量等核心指標(biāo)，從而決定了硅片的質(zhì)量。由于半導(dǎo)體硅片屬于定制化程度非常高的產(chǎn)品，其性能指標(biāo)多達(dá)幾千項(xiàng)，其中絕大部分理化指標(biāo)由長晶環(huán)節(jié)決定，也就是行業(yè)內(nèi)常說的“晶體長得好、硅片才可能好”。晶體是否能夠長得好，又取決于長晶設(shè)備與長晶工藝之間的動(dòng)態(tài)調(diào)整與配合，這也是國際頂尖半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)企業(yè)都自主設(shè)計(jì)和制造長晶爐的原因，且其為了技術(shù)封鎖，也不對(duì)外銷售長晶爐。

　　而上海超硅從藍(lán)寶石晶體生長起步，經(jīng)過多年的研發(fā)努力，終于攻克了半導(dǎo)體長晶爐的核心技術(shù)，成為全球第三家自主設(shè)計(jì)與制造長晶爐的大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)企業(yè)，極大地縮小了我國單晶硅生長工藝及設(shè)備技術(shù)水平與國際一流企業(yè)的差距。

　　據(jù)悉，得益于長晶爐技術(shù)的自主配套，上海超硅更加能夠快速響應(yīng)下游客戶的定制化需求，同時(shí)基于自身嚴(yán)謹(jǐn)?shù)馁|(zhì)量管理體系，全球排名前20位的集成電路制造商中，已有18家成為上海超硅的正式客戶并實(shí)現(xiàn)了批量供貨，包括臺(tái)積電、聯(lián)電、格羅方德、中芯國際、華虹集團(tuán)等國際知名晶圓代工企業(yè)，韓國海力士、日本鎧俠、美國鎂光等國際存儲(chǔ)芯片龍頭企業(yè)，以及荷蘭恩智浦、德國英飛凌、美國德州儀器、日本索尼等國際半導(dǎo)體IDM龍頭企業(yè)。

　　聚沙成塔，助力“中國芯”良性生態(tài)發(fā)展

　　技術(shù)上“補(bǔ)短板、追先進(jìn)”的同時(shí)，上海集成電路產(chǎn)業(yè)的集群發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入了新階段，成為“中國芯”高速發(fā)展的生態(tài)引擎。

　　作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)高地，上海集成電路產(chǎn)業(yè)正溢出“長三角”。譬如，今年1月，華虹半導(dǎo)體(01347.HK)發(fā)布公告稱，其有條件同意通過合營公司成立合營企業(yè)并以現(xiàn)金方式分別向合營公司投資合計(jì)40.2億美元，從事12英寸晶圓的制造及銷售。

　　以江蘇啟東為例，為承接上海產(chǎn)業(yè)溢出，則成立了上海交大電子信息與電氣工程啟東產(chǎn)研院，全力打造高端電子信息和電氣工程基地。啟東經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)規(guī)劃建設(shè)半導(dǎo)體裝備及材料產(chǎn)業(yè)園，并設(shè)立10億元基金，以對(duì)接上海集成電路產(chǎn)業(yè)，并全力打造半導(dǎo)體裝備及材料研發(fā)和國產(chǎn)化基地。現(xiàn)在，啟東已集聚捷捷微電、啟微半導(dǎo)體、乾朔電子、托倫斯半導(dǎo)體設(shè)備等一批業(yè)內(nèi)“尖子生”。

　　不僅是長三角，上海集成電路還實(shí)現(xiàn)對(duì)成渝地區(qū)的賦能。上海超硅子公司重慶超硅即是一典型案例。資料顯示，重慶超硅投資建設(shè)的“極大規(guī)模集成電路用200mm單晶硅晶體生長與拋光硅片及延伸產(chǎn)品”項(xiàng)目是中國大陸最早的200mm輕摻雜覆蓋LOW COP、COP FREE、氬氣退火、外延等高端大尺寸硅片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線。

　　路雖遠(yuǎn),行則必至；事雖難,做則必成。在概倫電子、思爾芯、上海超硅等標(biāo)桿企業(yè)的共同努力下，上海集成電路產(chǎn)業(yè)有望不斷補(bǔ)短板，推動(dòng)“中國芯”良性的生態(tài)發(fā)展。