11月7日消息 針對荷蘭ASML公司延遲出貨EUV光刻機的報道，中芯國際剛剛也作出了回應，稱“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段，未進行相關(guān)活動。公司先進工藝研發(fā)進展順利。目前，研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常�？蛻襞c設(shè)備導入正常運作。”

　　早些時候ASML也澄清稱，關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)有關(guān)中芯國際相關(guān)報導有誤，“延遲出貨”僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述，表示抗議。

　　ASML表示，對全球客戶一視同仁。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。

　　據(jù)了解，中芯國際目前量產(chǎn)的最先進制程為14nm，12nm已經(jīng)取得重大突破。而EUV光刻機主要用在7nm及以下制程。

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