羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有較強的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預抽負擔。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率。真空泵抽速的抽氣量一般單位用L/S和m3/h來表示。水噴射真空泵機組制作費用

液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩Ｒ涵h(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運動使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機相似。當工作液體為水時，稱水環(huán)式真空泵，水環(huán)真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達270~670 Pa。防腐真空泵直銷真空泵泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。

如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑，需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器，起到一個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時， 也一定要加強對于真空泵的維護，及時給真空泵換油，延長它的使用壽命。干式真空泵目前在國內(nèi)仍處于起步階段，國產(chǎn)替代進口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產(chǎn)生較大的效果。干泵替代現(xiàn)有的水泵、油泵也是一個趨勢。1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

通?？偸遣患訁^(qū)分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統(tǒng)稱為微型真空泵，但從技術(shù)角度二者是有區(qū)別的，選型時更要特別注意。簡而言之，氣體采樣泵只能帶小負載（即：泵抽氣端阻力不能太大），但價格便宜；嚴格意義上的微型真空泵可以帶大負載（抽氣端允許大阻力，甚至完全堵塞），但價格稍貴。氣體采樣泵有：PM系列（具體型號如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。真空泵包括水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵。

關(guān)于真空泵的發(fā)展，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內(nèi)大力推廣和應用。折疊液環(huán)泵屬于粗真空泵的一種類型。水環(huán)式真空泵制作費用

水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。水噴射真空泵機組制作費用

爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級泵均應嚴格控制端面間隙，即四級泵需嚴格控制8個端面間隙，泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復雜性，一般人員很難達到裝配要求；因爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復雜，在抽除可凝性氣體時（例如：水蒸汽，有機溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時會產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大，四級爪形真空泵有8個端面，不宜抽除大量可凝性氣體。水噴射真空泵機組制作費用

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